当然,立体封装技术不只有 2.5D,还有 3D 封装。那幺,两者之间的差别究竟为何,而 3D 封装又有半导体业者正在採用?
相较于 2.5D 封装,3D 封装的原理是在晶片製作电晶体(CMOS)结构,并且直接使用硅穿孔来连结上下不同晶片的电子讯号,以直接将记忆体或其他晶片垂直堆叠在上面。此项封装最大的技术挑战便是,要在晶片内直接製作硅穿孔困难度极高,不过,由于高效能运算、人工智慧等应用兴起,加上 TSV 技术愈来愈成熟,可以看到越来越多的 CPU、GPU 和记忆体开始採用 3D 封装。
▲ 3D 封装是直接将晶片堆叠起来。
台积电、英特尔积极发展 3D 封装技术
在 3D 封装上,英特尔(Intel)和台积电都有各自的技术。英特尔採用的是「Foveros」的 3D 封装技术,使用异质堆叠逻辑处理运算,可以把各个逻辑晶片堆栈一起。也就是说,首度把晶片堆叠从传统的被动硅中介层与堆叠记忆体,扩展到高效能逻辑产品,如 CPU、绘图与 AI 处理器等。以往堆叠仅用于记忆体,现在採用异质堆叠于堆叠以往仅用于记忆体,现在採用异质堆叠,让记忆体及运算晶片能以不同组合堆叠。
另外,英特尔还研发 3 项全新技术,分别为 Co-EMIB、ODI 和 MDIO。Co-EMIB 能连接更高的运算性能和能力,并能够让两个或多个 Foveros 元件互连,设计人员还能够以非常高的频宽和非常低的功耗连接模拟器、记忆体和其他模组。ODI 技术则为封装中小晶片之间的全方位互连通讯提供了更大的灵活性。顶部晶片可以像 EMIB 技术一样与其他小晶片进行通讯,同时还可以像 Foveros 技术一样,通过硅通孔(TSV)与下面的底部裸片进行垂直通讯。
▲ 英特尔 Foveros 技术概念。
同时,该技术还利用大的垂直通孔直接从封装基板向顶部裸片供电,这种大通孔比传统的硅通孔大得多,其电阻更低,因而可提供更稳定的电力传输;并透过堆叠实现更高频宽和更低延迟。此一方法减少基底晶片中所需的硅通孔数量,为主动元件释放了更多的面积,优化裸片尺寸。
而台积电,则是提出「3D 多晶片与系统整合晶片」(SoIC)的整合方案。此项系统整合晶片解决方案将不同尺寸、製程技术,以及材料的已知良好裸晶直接堆叠在一起。
台积电提到,相较于传统使用微凸块的 3D 积体电路解决方案,此一系统整合晶片的凸块密度与速度高出数倍,同时大幅减少功耗。此外,系统整合晶片是前段製程整合解决方案,在封装之前连结两个或更多的裸晶;因此,系统整合晶片组能够利用该公司的 InFO 或 CoWoS 的后端先进封装技术来进一步整合其他晶片,打造一个强大的「3D×3D」系统级解决方案。
▲ 台积电 SoIC 整合方案。
此外,台积电亦推出 3DFabric,将快速成长的 3DIC 系统整合解决方案统合起来,提供更好的灵活性,透过稳固的晶片互连打造出强大的系统。藉由不同的选项进行前段晶片堆叠与后段封装,3DFabric 协助客户将多个逻辑晶片连结在一起,甚至串联高频宽记忆体(HBM)或异质小晶片,例如类比、输入/输出,以及射频模组。3DFabric 能够结合后段 3D 与前段 3D 技术的解决方案,并能与电晶体微缩互补,持续提升系统效能与功能性,缩小尺寸外观,并且加快产品上市时程。