台积电积极发展工业废水再生技术，预计于民国 110 年启动南科园区工业废水再生工程，导入工业再生水为晶圆製程用水，至 112 年每天将达 2 万吨再生水。
台积电表示，内部不断透过「开源」与「节流」并行的方针强化用水效率，採取水资源风险管理、拓展多元水资源及水污染防治技术开发三大水管理策略。
拓展多元水资源，台积电 104 年起积极发展再生水技术，成功降低厂内废水水质相关因子，目前自产所得的再生水，不只达到半导体製程用水标準，排放水质也符合法规放流规定。
台积电今年进一步与南部科学园区管理局签约，促建「台积电南科再生水厂」，预计明年启动园区工业废水再生工程，导入工业再生水为台积电晶圆製程用水。
台积电指出，初期规划每天可供给再生水约 0.5 万吨，112 年每天则将增加至 2 万吨再生水。
台积电同时全力支持政府再生水政策，除提供政府再生水製程相关专业意见与推行经验，并将採购再生水，预计 113 年每天将购买永康及安平两处再生水厂生产的再生水共 4.7 万吨。
